Кинетическая модель термического разложения фторида серы (SF6)

Кинетическая модель термического разложения фторида серы (SF₆)

Авторы: Чернухо Андрей Павлович и Мигун Алексей Николаевич

Описание механизма

Последняя версия кинетического механизма термического разложения фторида серы состоит из 469 обратимых элементарных химических реакций между следующими 57 химическими компонентами в элементном пространстве S-F-N-O:

39 нейтральных: F, F₂, S, S₂, SF₆, SF₅, SF₄, SF₃, SF₂, SF, N, N₂, O, O₂, O₃, NO, NO₂, NO₃, N₂O, SO, SO₂, SO₃, SN, NF, NF₂, NF₃, FO, FO₂, NOF, NO₂F, F₂O, SOF, SOF₂, SOF₃, SOF₄, SO₂F, SO₂F₂, S₂F₂ и S₂O;
11 положительно заряженных: F⁺, F₂⁺, S⁺, S₂⁺, SF⁺, O⁺, O₂⁺, N⁺, N₂⁺, NO⁺ и N₂O⁺;
7 отрицательно заряженных: E, F^-, S^-, SF^-, O^-, O₂^- и NO₂^-.

Список входящих в механизм реакций вместе с соответствующими данными о константах скоростей и ссылками на литературу приведены в табл. 2. Константы скорости даны в [см-молекула-с] и энергии активации Ea в [K]. Почти все зависящие от давления реакции имеют данные о пределах как низкого, так и высокого давления (ПНД и ПВД соответственно). Несколько реакций также имеют эффективности третьих частиц для константы скорости ПНД. Обратные химические реакции рассчитываются в соответствии с принципом детального баланса с использованием соответствующих термодинамических данных, параметры для расчета которых приведены в файле “thermSF6.dat” в формате ChemKin® [1]. В табл. 1 приведены использованные литературные источники. Данные все данные были согласованы относительно энтальпии образования , взятой из одного источника [2]. Кинетический механизм, также в формате ChemKin® доступен в файле “chemSF6.inp”. Данные для расчета транспортных свойств компонент рассматриваемой системы находятся в файле “tranSF6.dat”.

Таблица 1. Литературные источники термодинамических данных

Компонент	Ссылка
S₂, SF₆, SF₅, SF₄, SF₃, SF₂, SF, N, N₂, O, O₂, O₃, NO, NO₂, NO₃, N₂O, SO, SO₂, SO₃, SN, NF, NF₂, NF₃, FO, FO₂, NOF, F₂O, SOF₂, SO₂F₂, S₂F₂, S₂O; E, O^–,O₂^–; O⁺, O₂⁺, NO⁺, N₂O⁺	[4]
NO₂F, S⁺	[1]
F, F₂, S^–, F^–, S^–, SF^–, N⁺, N₂⁺	[5]
SF⁺, F⁺, F₂⁺, S₂⁺	[6]

Таблица 2. Химические реакции и соответствующие данные

№	Реакция	Предел	A	n	E_a	Ссылка	Прим.
Нейтральные атом-молекулярные реакции
NR1	SF₆ + SF₂ = SF₄ + SF₄		3.80(-13)	0.15	15080	[8,13]	e
NR2	SF₅ + F (+M) = SF₆ (+M)	ПВД ПНД	3.80(-9) 3.40(-28)	-1.0 0	46 0	[2] [17]	a
NR3	SF₅ + F₂ = SF₆ + F		2.63(-12)	0	2441	[2]
NR4	SF₅ + SF₅ = SF₆ + SF₄		5.25(-13)	0	8001	[2]
NR5	SF₅ + F₂O = SF₆ + FO		2.71(-12)	0	5133	[2]
NR6	SF₄ + F₂ = SF₅ + F		2.63(-11)	0	7347	[2,8]
NR7	SF₄ + F (+M) = SF₅ (+M)	ПВД ПНД	6.61(-14) 2.90(-28)	0 0	1005 0	[2,8,13] [2]
NR8	F + SF₃ (+M)= SF₄ (+M)	ПВД ПНД	1.00(-12) 5.40(-29)	0 0	0 0	[2] [17]
NR9	SF₃ + F₂ = SF₅		1.84(-12)	0.22	5027	[8,13]	e
NR10	SF₂+ F₂ = SF₄		1.46(-13)	0.24	15082	[8,13]	e
NR11	SF₃ + SF₃ = SF₂+ SF₄		2.21(-11)	0.2	0	[8,13]	e
NR12	SF₂+ SF₂ = SF₄ + S		3.14(-13)	0.17	27960	[8,13]	e
NR13	SF₂ + F (+M) = SF₃ (+M) M=Ar	ПВД ПНД	1.71(-12) 1.34(-41)	0.23 2.12	5027 0	[8,13] [2]	e b
NR14	SF₂ + F₂ = SF₃ + F		2.09(-13)	0.2	15080	[8,13]	e
NR15	SF₂+ SF₂ = SF₃ + SF		2.81(-13)	0.18	27420	[8,13]	e
NR16	SF + F₂ = SF₃		1.62(-12)	0.22	5027	[8,13]	e
NR17	SF + F (+M) = SF₂ (+M)	ПВД ПНД	1.44(-11) 9.70(-31)	0.233 0	0 0	[8,13] [17]	e
NR18	SF + F₂ = SF₂ + F		1.59(-12)	0.22	5027	[8,13]	e
NR19	SF + SF = S + SF₂		1.80(-11)	0.22	0	[8,13]	e
NR20	SF + SF = F₂ + S₂		1.40(-12)	0.25	12470	[8,13]	e
NR21	SF + O = SO + F		4.20(-11)	0	0	[2]
NR22	SF + N = SN + F		1.71(-11)	0	0	[2]
NR23	F₂ + S = SF₂		1.71(-12)	0.23	5027	[8,13]	e
NR24	F₂ + S₂ = SF₂ + S		2.54(-13)	0.19	15080	[8,13]	e
NR25	F₂ + O = FO + F		4.30(-15)	0	1154	[2]	a
NR26	F₂ + NO = NOF + F		6.91(-13)	0	1150	[2]
NR27	F₂ + NO₂ = NO₂F + F		2.64(-12)	0	5268	[2]
NR28	F₂ + NF₂ = NF₃ + F		4.34(-12)	0	6493	[2]	a
NR29	F₂ + O + M= F₂O + M		1.06(-18)	-4.03	0	[2]	b, c
NR30	F + SF = F₂ + S		1.26(-12)	0.25	22270	[8,13]	e
NR31	F + S + M = SF + M		2.80(-34)	0	0	[8]
NR32	F + F + M = F₂ + M		3.80(-29)	-2.0	515	[2]
NR33	F + O₂ (+M) = FO₂ (+M) M=N₂	ПВД ПНД	2.40(-13) 1.10(-30)	0 -1.0	0 0	[2] [2]
NR34	F + F₂O₂ = FO₂ + F₂		3.60(-14)	0	0	[2]
NR35	F + NO (+M) = NOF (+M)	ПВД ПНД	1.00(-11) 8.30(-32)	0 0	0 0	[2] [2]
NR36	F + FO₂ = F₂ + O₂		8.80(-13)			[2]
NR37	F + NF₂ (+M) = NF₃ (+M) M=N₂	ПВД ПНД	4.66(-17) 1.60(-33)	0 0	-3722 -2298	[2] [2]	a a
NR38	F + F₂O = FO + F₂		8.52(-14)	0	6894	[2]
NR39	F + NO₃ = FO + NO₂		3.00(-11)	0	0	[2]
NR40	F + NF + M = NF₂ + M		3.40(-21)	-3.62	0	[2]	b, c
NR41	S₂ + O = SO + S		2.20(-11)	0	84	[2]
NR42	S + S + M = S₂ + M		1.10(-30)	-1.0	171	[3]
NR43	S + O₂ = SO + O		1.18(-13)	0.52	0	[2,3]
NR44	S + NO₂ = SO + NO		4.90(-11)	0	-84	[2]
NR45	S + O₃ = SO + O₂		1.20(-11)	0	0	[2]
NR46	S + O + M = SO + M		1.27(-30)	-1.0	87	[2]	b, c
NR47	SO + O (+M) = SO₂ (+M) M=N₂	ПВД ПНД	5.30(-11) 3.30(-26)	0 -1.84	0 0	[2] [2]
NR48	SO₂ + O = SO + O₂		6.60(-12)	0	9290	[2]	o
NR49	SO + NO₂ = SO₂ + NO		1.40(-11)	0	0	[2]
NR50	SO + SO = SO₂ + S		5.80(-12)	0	1760	[16]
NR51	SO + O₃ = SO₂ + O₂		4.50(-12)	0	1170	[2]
NR52	SO + SO₃ = SO₂ + SO₂		2.00(-15)	0	0	[2]
NR53	SO₂ + O (+M) = SO₃ (+M) M=N₂	ПВД ПНД	6.50(-8) 4.00(-32)	0 0	1400 1000	[2] [2]
NR54	SO₂ + NO₂ = NO + SO₃		1.05(-11)	0	13587	[2]
NR55	SO₂ + NO₃ = NO₂ + SO₃		7.00(-21)	0	0	[2]
NR56	SO₃ + O = SO₂ + O₂		3.17(-11)	0	4455	[2]	a
NR57	SO₃ + N = SO₂ + NO		5.10(-16)	0	0	[2]
NR58	S₂O + O = SO + SO		1.50(-12)	0	0	[2]
NR59	FO + O = F + O₂		5.00(-11)	0	0	[2]
NR60	FO + N = F + NO		1.30(-11)	0	0	[2]	d
NR61	FO + N = O + NF		1.30(-11)	0	0	[2]	d
NR62	FO + NO = NO₂ + F		8.00(-10)	-0.66	0	[2]
NR63	FO + FO = F + F + O₂		8.50(-12)	0	0	[2]
NR64	FO + FO = F + FO₂		5.00(-13)	0	0	[2]
NR65	FO + NF₂ = F + F + NOF		3.80(-12)	0	0	[2]
NR66	FO + NO₃ = FO₂ + NO₂		1.00(-12)	0	0	[2]
NR67	FO₂ + O = FO + O₂		5.00(-11)	0	0	[2]
NR68	F₂O + NF₂ = NF₃ + FO		5.05(-12)	0.5	11121	[2]
NR69	NF + NF = F + F + N₂		3.50(-12)	0	0	[2]
NR70	NF₂ + O = F + NOF		1.25(-11)	0	0	[2]
NR71	NF + FO= NF₂ + O		2.50(-10)	0	0	[16]	I
NR72	NF₂ + N = NF + NF		3.00(-12)	0	0	[2]
NR73	NF₂ + NO₂ = NOF + NOF		8.60(-14)	0	2450	[2]
NR74	NF₂ + NF₂ = NF₃ + NF		1.66(-12)	0	18594	[2]
NR75	O + O + M = O₂ + M Ar:1.0; O:71; O₂:20; NO:5; N₂:5; N:5;		2.76(-31)	-1.0	0	[2,10]
NR76	N₂ + O = NO + N		3.00(-10)	0	38295	[2,10]
NR77	N + O₂ = NO + O		1.50(-14)	1.0	3271	[2,10]
NR78	NO + M = N + O + M Ar:1.0; N₂:1.5; NO:3.0;		1.60(-9)	0	74627	[2,10]
NR79	NO + NO = N₂ + O₂		2.50(-11)	0	30650	[2]
NR80	N₂O (+M) = N₂ + O (+M) Ar:1;O₂:1.4; N₂:1.7; NO:3.0; N₂O:3.5;	ПВД ПНД	1.26(12) 6.62(-10)	0 0	31511 28518	[2,10] [2,10]	a a
NR81	N₂O + O = N₂ + O₂		1.66(-10)	0	14191	[2,10]	a
NR82	N₂O + O = NO + NO		1.15(-10)	0	13401	[2,10]	a
NR83	N₂O + N = N₂ + NO		1.66(-11)	0	10064	[10]
NR84	N₂O + NO = N₂ + NO₂		4.57(-10)	0	25161	[2,10]
NR85	NO + O (+M) = NO₂ (+M) Ar:0.6; NO₂:6.2; NO:1.8; O₂:0.8;N₂O:4.4	ПВД ПНД	2.16(-9) 1.30(-23)	-0.75 -2.87	0 781	[2,10] [2,10]
NR86	NO₂ + O = NO + O₂		6.50(-12)	0	-120	[2,10]
NR87	NO₂ + N = N₂O + O		1.40(-12)	0	0	[2,10]
NR88	NO₂ + N = NO + NO		1.66(-12)	0	0	[10]
NR89	NO₂ + NO = N₂O + O₂		1.66(-12)	0	30193	[10]
NR90	NO₂ + NO₂ = NO + NO + O₂		6.56(-12)	0	13884	[2,10]	a
NR91	NO₃ + NO = NO₂ + NO₂		1.80(-11)	0	-110	[2]
NR92	NO₂ + O (+M) = NO₃ (+M) O₂:0.8	ПВД ПНД	2.21(-11) 4.10(-20)	0 -4.08	0 1242	[2,10] [2,10]
NR93	NO₃ (+M) = NO + O₂ (+M)	ПВД ПНД	2.50(6) 4.50(-13)	0 0	6099 2113	[2,10] [2,10]
NR94	NO₃ + NO₂ = NO + NO₂ + O₂		2.00(-13)	0	1610	[2,10]	a
NR95	NO₃ + O = NO₂ + O₂		1.70(-11)	0	0	[2,10]
NR96	NO₃ + NO₃ = NO₂ + NO₂ + O₂		8.50(-13)	0	2451	[2,10]	a
NR97	N + N + M = N₂ + M		8.30(-34)	0	-490	[2]
NR98	SF₂ + O (+M) = SOF₂ (+M)	ПВД ПНД	5.00(-15) 3.30(-26)	0 -1.84	0 0		p q
NR99	SF₂ + O = SOF + F		8.00(-14)	0	0	[18]
NR100	SF₂ + O₂ = SO₂F₂		5.00(-16)	0	0	[2]	d
NR101	SOF₃ + O = SO₂F₂ + F		1.50(-10)	0	0	[2]
NR102	SOF₃ + F (+M) = SOF₄ (+M)	ПВД ПНД	1.00(-10) 1.70(-27)	0 0	0 0	[20] [17]
NR103	SF₅ + O = SOF₄ + F		2.00(-11)	0	0	[19]
NR104	SF₄ + O = SOF₄		1.00(-14)	0	0	[21]
NR105	SF₄ + O = SOF₂ + F₂		1.00(-14)	0	0	[22]
NR106	SF₃ + O = SOF₂ + F		2.00(-11)	0	0	[17]
NR107	SOF + O = SO₂F		1.00(-13)	0	0	[18]
NR108	SOF + O = SO₂ + F		7.90(-11)	0	0	[19]
NR109	SOF₂ + F + M = SOF₃ + M		1.70(-30)	0	0	[18]
NR110	SOF + F + M = SOF₂ + M		3.40(-30)	0	0	[18]
NR111	SO + F + M = SOF + M		3.30(-31)	0	0	[18]
NR112	SO₂ + F (+M) = SO₂F (+M)	ПВД ПНД	5.00(-14) 6.70(-30)	0 0	0 0		r
NR113	SO₂F + F (+M) = SO₂F₂ (+M)	ПВД ПНД	5.00(-14) 3.30(-28)	0 0	0 0	[18]	r
NR114	SOF₂ + O = SO₂F₂		5.00(-15)	0	0	[2]
Трехчастичные ион-молекулярные реакции рекомбинации a) положительные ионы
TRP1	S⁺ + S + M = S₂⁺ + M		7.20(-28)	-0.75	0	[12]
TRP2	S⁺ + F + M = SF⁺ + M		7.20(-28)	-0.75	0	[12]
TRP3	F⁺ + S + M = SF⁺ + M		7.20(-28)	-0.75	0	[12]
TRP4	F⁺ + F + M = F₂⁺ + M		7.20(-28)	-0.75	0	[12]
TRP5	N⁺ + N + M = N₂⁺ + M		7.20(-28)	-0.75	0	[16]
TRP6	N⁺ + O + M = NO⁺ + M		7.20(-28)	-0.75	0	[16]
TRP7	O⁺ + N + M = NO⁺ + M		7.20(-28)	-0.75	0	[16]
TRP8	O⁺ + O + M = O₂⁺ + M		7.20(-28)	-0.75	0	[11,16]
TRP9	O⁺ + N₂ + M = N₂O⁺ + M		7.20(-28)	-0.75	0	[11]
b) отрицательные ионы
TRN1	SF^– + M = F^– + S + M		3.92(-12)	0.5	24950	[8]
TRN₂	SF^– + M = S^– + F + M		3.92(-12)	0.5	40849	[8]
TRN3	O₂^– + N + M = NO₂^– + M		1.00(-29)	0	0	[16]
TRN4	O^– + NO + M = NO₂^– + M		1.00(-29)	0	0	[16]
TRN5	O₂^– + O₂ + N₂ = NO₂^– + NO₂		5.80(-42)	0	0	[16]
Бинарные реакции перезарядки a) положительные ионы
BTP1	F⁺ + F₂ = F₂⁺ + F		6.90(-10)	0	0	[8]
BTP2	F⁺ + N₂ = N₂⁺ + F		9.70(-10)	0	0	[12]
BTP3	F⁺ + N = N⁺ + F		1.00(-10)	0	0		f
BTP4	F⁺ + O = O⁺ + F		1.00(-10)	0	0		f
BTP5	F⁺ + N₂O = N₂O⁺ + F		1.00(-10)	0	0		f
BTP6	F⁺ + N₂O = NO⁺ + NF		7.20(-10)	0	0	[12]
BTP7	F⁺ + O₂ = O₂⁺ + F		7.00(-10)	0	0	[12]
BTP8	F⁺ + O₂ = O⁺ + FO		6.10(-11)	0	0	[12]
BTP9	F⁺ + S = S⁺ + F		1.00(-10)	0	0		f
BTP10	F⁺ + SF = SF⁺ + F		1.30(-9)	0	0	[8]
BTP11	F⁺ + S₂ = S₂⁺ + F		1.66(-9)	0	0	[8]
BTP12	F⁺ + NO = NO⁺ + F		8.46(-10)	0	0	[12]
BTP13	F₂⁺ + N₂ = N₂⁺ + F₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP14	F₂⁺ + N = N⁺ + F₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP15	F₂⁺ + O = O⁺ + F₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP16	F₂⁺ + N₂O = N₂O⁺ + F₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP17	F₂⁺ + O₂ = O₂⁺ + F₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP18	F₂⁺ + S = S⁺ + F₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP19	F₂⁺ + SF = SF⁺ + F₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP20	F₂⁺ + S₂ = S₂⁺ + F₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP21	F₂⁺ + NO = NO⁺ + F₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP22	N₂⁺ + N = N⁺ + N₂		1.00(-11)	0	0	[12]
BTP23	N₂⁺ + O = O⁺ + N₂		1.00(-11)	0	0	[12]
BTP24	N₂⁺ + O = NO⁺ + N		1.30(-10)	0	0	[12]
BTP25	N₂⁺ + N₂O = N₂O⁺ + N₂		6.00(-10)	0	0	[12]
BTP26	N₂⁺ + N₂O = NO⁺ + N₂⁺ N		4.00(-10)	0	0	[16]
BTP27	N₂⁺ + O₂ = O₂⁺ + N₂		5.00(-11)	0	0	[12]
BTP28	N₂⁺ + O₂ = NO⁺ + NO		3.00(-10)	-0.81	1148	[16]
BTP29	N₂⁺ + S = S⁺ + N₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP30	N₂⁺ + SF = SF⁺ + N₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP31	N₂⁺ + NO₂ = NO⁺ + N₂O		5.00(-11)	0	0	[16]
BTP32	N₂⁺ + S₂ = S₂⁺ + N₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP33	N₂⁺ + NO = NO⁺ + N₂		4.10(-10)	0	0	[12]
BTP34	N⁺ + O = O⁺ + N		5.60(-19)	1.58	0	[16]
BTP35	N⁺ + N₂O = N₂O⁺ + N		1.00(-10)	0	0		f
BTP36	N⁺ + N₂O = NO⁺ + N₂		5.50(-10)	0	0	[12]
BTP37	N⁺ + O₂ = O₂⁺ + N		3.07(-10)	0	0	[12]
BTP38	N⁺ + O₂ = NO⁺ + O		2.32(-10)	0	0	[12]
BTP39	N⁺ + O₂ = O⁺ + NO		4.60(-11)	0	0	[12]
BTP40	N⁺ + S = S⁺ + N		1.00(-10)	0	0		f
BTP41	N⁺ + SF = SF⁺ + N		1.00(-10)	0	0		f
BTP42	N⁺ + S₂ = S₂⁺ + N		1.00(-10)	0	0		f
BTP43	N⁺ + NO = NO⁺ + N		4.72(-10)	0	0	[12]
BTP44	N⁺ + NO = N₂⁺ + O		8.30(-11)	0	0	[12]
BTP45	N⁺ + NO = O⁺ + N₂		1.00(-12)	0	0	[16]
BTP46	N⁺ + O₃ = NO⁺ + O₂		5.00(-10)	0	0	[16]
BTP47	O⁺ + N₂O = N₂O⁺ + O		6.30(-10)	0	0	[12]
BTP48	O⁺ + N₂O = NO⁺ + NO		2.30(-10)	0	0	[16]
BTP49	O⁺ + N₂O = O₂⁺ + N₂		2.00(-11)	0	0	[16]
BTP50	O⁺ + O₂ = O₂⁺ + O		2.10(-11)	0	0	[12]
BTP5	O⁺ + S = S⁺ + O		1.00(-10)	0	0		f
BTP52	O⁺ + SF = SF⁺ + O		1.00(-10)	0	0		f
BTP53	O⁺ + S₂ = S₂⁺ + O		1.00(-10)	0	0		f
BTP54	O⁺ + NO = NO⁺ + O		8.00(-13)	0	0	[12]
BTP55	O⁺ + NO = O₂⁺ + N		3.00(-12)	0	0	[16]
BTP56	O⁺ + N₂ = NO⁺ + N		1.20(-12)	0	0	[12]
BTP57	O⁺ + O₃ = O₂⁺ + O₂		5.00(-10)	0	0	[16]
BTP58	O⁺ + SO₂ = O₂⁺ + SO		8.00(-10)	0	0	[12]
BTP59	N₂O⁺ + N₂O = NO⁺ + N₂ + NO		1.20(-11)	0	0	[12]
BTP60	N₂O⁺ + O₂ = O₂⁺ + N₂O		2.24(-10)	0	0	[12]
BTP61	N₂O⁺ + O₂ = NO⁺ + NO₂		4.60(-11)	0	0	[12]
BTP62	N₂O⁺ + S = S⁺ + N₂O		1.00(-10)	0	0		f
BTP63	N₂O⁺ + SF = SF⁺ + N₂O		1.00(-10)	0	0		f
BTP64	N₂O⁺ + NO₂ = NO⁺ + N₂ + O₂		4.29(-10)	0	0	[12]
BTP65	N₂O⁺ + S₂ = S₂⁺ + N₂O		1.00(-10)	0	0		f
BTP66	N₂O⁺ + NO = NO⁺ + N₂O		2.30(-10)	0	0	[12]
BTP67	O₂⁺ + S = S⁺ + O₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP68	O₂⁺ + SF = SF⁺ + O₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP69	O₂⁺ + NO₂ = NO⁺ + O₃		1.00(-11)	0	0	[16]
BTP70	O₂⁺ + S₂ = S₂⁺ + O₂		1.00(-10)	0	0		f
BTP71	O₂⁺ + NO = NO⁺ + O₂		4.60(-10)	0	0	[12]
BTP72	O₂⁺ + N₂ = NO⁺ + NO		1.00(-15)	0	0	[12]
BTP73	O₂⁺ + N = NO⁺ + O		1.50(-10)	0	0	[12]
BTP74	S⁺ + SF = SF⁺ + S		1.00(-10)	0	0	[8]
BTP75	S⁺ + SF = S₂⁺ + F		9.90(-10)	0	0	[8]
BTP76	S⁺ + S₂ = S₂⁺ + S		1.38(-9)	0	0	[8]
BTP77	S⁺ + NO = NO⁺ + S		3.40(-10)	0	0	[12]
BTP78	S⁺ + F₂ = SF⁺ + F		5.89(-10)	0	0	[8]
BTP79	SF⁺ + S₂ = S₂⁺ + SF		1.00(-10)	0	0		f
BTP80	SF⁺ + NO = NO⁺ + SF		1.00(-10)	0	0		f
BTP81	S₂⁺ + NO = NO⁺ + S₂		1.00(-10)	0	0		f
b) отрицательные ионы
BTN1	O₂^– + O = O^– + O₂		3.30(-10)	0	0	[16]
BTN₂	O₂^– + S = S^– + O₂		3.00(-10)	0	0		g
BTN3	O₂^– + NO₂ = NO₂^– + O₂		7.00(-10)	0	0	[11,16]
BTN4	O₂^– + SF = SF^– + O₂		3.00(-10)	0	0		g
BTN5	O₂^– + F = F^– + O₂		3.00(-10)	0	0		g
BTN6	O₂^– + NO = NO₂^– + O		1.00(-12)	0	0	[11,16]
BTN7	O₂^– + N₂O = NO₂^– + NO		2.00(-14)	0	0	[16]
BTN8	O^– + S = S^– + O		3.00(-10)				g
BTN9	O^– + NO₂ = NO₂^– + O		1.20(-9)			[11,16]
BTN10	O^– + SF = SF^– + O		3.00(-10)	0	0	[16]
BTN11	O^– + F = F^– + O		3.00(-10)	0	0	[16]
BTN12	O^– + NO₂ = O₂^– + NO		1.80(-11)	0	0	[11,16]
BTN13	O^– + N₂O = O₂^– + N₂		2.20(-10)	0	0	[16]
BTN14	O^– + N₂O = NO₂^– + N		2.20(-10)	0	0	[11]
BTN15	S^– + NO₂ = NO₂^– + S		8.20(-10)	0	0	[11]
BTN16	S^– + SF = SF^– + S		3.28(-11)	0.5	0	[8]
BTN17	S^– + F = F^– + S		3.00(-10)	0	0		g
BTN18	NO₂^– + SF = SF^– + NO₂		3.00(-10)	0	0		g
BTN19	NO₂^– + F = F^– + NO₂		3.00(-10)	0	0		g
BTN20	SF^– + F = F^– + SF		3.00(-10)	0	0		g
Бинарные реакции ассоциативного отлипания (диссоциативного прилипания)
BAD1	NO₂ + E = NO₂^–		3.00(-11)	0	0	[16]
BAD2	NO₂^– + O = NO₃ + E		1.00(-12)	0	0	[16]
BAD3	O₂^– + N = NO₂ + E		5.00(-10)	0	0	[16]
BAD4	O^– + N = NO + E		2.60(-10)	0	0	[16]
BAD5	O^– + NO = NO₂ + E		2.60(-10)	0	0	[16]
BAD6	O^– + O = O₂ + E		5.00(-10)	0	0	[16]
BAD7	O₂^– + O = O₃ + E		1.50(-10)	0	0	[16]
BAD8	N₂O + E = O^– + N₂		2.00(-10)	0	0	[16]
BAD9	F₂ + E = F^– + F		3.24(-8)	-0.19	0	[8]
BAD10	SF + E = F^– + S		8.30(-13)	0.7	0	[8]
Трехчастичные реакции прилипания (отлипания)
TAP1	O₂^– + N = NO + O + E		4.00(-10)	0	0	[16]
TAP2	O₂ + E + O₂ => O₂^– + O₂		4.00(-27)	-1.0	600	[16]
TAP3	O₂ + E + N₂ => O₂^– + N₂		1.00(-26)	-2.0	70	[16]
TAP4	O + E + M => O^– + M		1.00(-31)	0	0	[16]
TAP5	F^– + M = F + E + M		1.00(-11)	0	40000	[8]
TAP6	S^– + M = S + E + M		4.23(-12)	0.5	24105	[8]
Трехчастичные реакции ион-электронной рекомбинации (прямая ионизация)
TR1a	N₂⁺ + E + E => N₂ + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
TR1b	N₂ + E => N₂⁺ + E + E		3.64(-32)	5.04	180840	[16]
TR2a	N⁺ + E + E => N + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
TR2b	N + E => N⁺ + E + E		3.00(-11)	0.6	168772	[16]
TR3a	NO⁺ + E + E => NO + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
TR3b	NO + E => NO⁺ + E + E		1.07(0)	-1.68	107367	[16]
TR4a	O₂⁺ + E + E => O₂ + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
TR4b	O₂ + E => O₂⁺ + E + E		1.66(-37)	6.02	140150	[16]
TR5a	O⁺ + E + E => O + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
TR5b	O + E => O⁺ + E + E		8.64(-12)	0.68	157981	[16]
TR6a	F⁺ + E + E => F + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
TR6b	F + E => F⁺ + E + E		5.20(-1)	-1.5	202194	[8]	j
TR7a	F₂⁺ + E + E => F₂ + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
TR8a	N₂O⁺ + E + E => N₂O + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
TR9a	S⁺ + E + E => S + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
TR9b	S + E => S⁺ + E + E		5.20(-1)	-1.5	120230	[8]
TR10a	SF⁺ + E + E => SF + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
TR11a	S₂⁺ + E + E => S₂ + E		1.60(-9)	-4.5	0	[14]	k
Реакции диссоциативной рекомбинации
DRP1	SF⁺ + E = S + F		3.46(-6)	-0.5	0	[8]
DRP2	S₂⁺ + E = S + S		3.46(-6)	-0.5	0	[8]
DRP3	F₂⁺ + E = F + F		3.46(-6)	-0.5	0	[8]
DRP4	N₂⁺ + E = N + N		3.00(-4)	-0.93	196	[16]
DRP5	NO⁺ + E = N + O		2.30(-6)	-0.45	59	[16]
DRP6	O₂⁺ + E = O + O		6.50(-2)	-1.62	40	[16]
DRP7	N₂O⁺ + E = N₂ + O		2.14(-5)	-0.5	0	[15]
Трехчастичная ион-ионная рекомбинация
TIR1	O₂^– + F⁺ + M = O₂ + F + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR2	O₂^– + F₂⁺ + M = O₂ + F₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR3	O₂^– + N₂⁺ + M = O₂ + N₂ + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TIR4	O₂^– + N⁺ + M = O₂ + N + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TIR5	O₂^– + O⁺ + M = O₂ + O + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TIR6	O₂^– + N₂O⁺ + M = O₂ + N₂O + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR7	O₂^– + O₂⁺ + M = O₂ + O₂ + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TIR8	O₂^– + S⁺ + M = O₂ + S + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR9	O₂^– + SF⁺ + M = O₂ + SF + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR10	O₂^– + S₂⁺ + M = O₂ + S₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR11	O₂^– + NO⁺ + M = O₂ + NO + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TIR12	O^– + F⁺ + M = O + F + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR13	O^– + F₂⁺ + M = O + F₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR14	O^– + N₂⁺ + M = O + N₂ + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TIR15	O^– + N⁺ + M = O + N + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TIR16	O^– + O⁺ + M = O + O + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]	h
TIR17	O^– + N₂O⁺ + M = O + N₂O + M		5.00(-20)	-2.5	0
TIR18	O^– + O₂⁺ + M = O + O₂ + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TIR19	O^– + S⁺ + M = O + S + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR20	O^– + SF⁺ + M = O + SF + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR21	O^– + S₂⁺ + M = O + S₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR22	O^– + NO⁺ + M = O + NO + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TIR23	S^– + F⁺ + M = S + F + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR24	S^– + F₂⁺ + M = S + F₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR25	S^– + N₂⁺ + M = S + N₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR26	S^– + N⁺ + M = S + N + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR27	S^– + O⁺ + M = S + O + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR28	S^– + N₂O⁺ + M = S + N₂O + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR29	S^– + O₂⁺ + M = S + O₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR30	S^– + S⁺ + M = S + S + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR31	S^– + SF⁺ + M = S + SF + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR32	S^– + S₂⁺ + M = S + S₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR33	S^– + NO⁺ + M = S + NO + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR34	NO₂^– + F⁺ + M = NO₂ + F + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR35	NO₂^– + F₂⁺ + M = NO₂ + F₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR36	NO₂^– + N₂⁺ + M = NO₂ + N₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR37	NO₂^– + N⁺ + M = NO₂ + N + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR38	NO₂^– + O⁺ + M = NO₂ + O + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR39	NO₂^– +N₂O⁺ + M = NO₂ + N₂O + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR40	NO₂^– + O₂⁺ + M = NO₂ + O₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR41	NO₂^– + S⁺ + M = NO₂ + S + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR42	NO₂^– + SF⁺ + M = NO₂ + SF + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR43	NO₂^– + S₂⁺ + M = NO₂ + S₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR44	NO₂^– + NO⁺ + M = NO₂ + NO + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR45	SF^– + F⁺ + M = SF + F + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR46	SF^– + F₂⁺ + M = SF + F₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR47	SF^– + N₂⁺ + M = SF + N₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR48	SF^– + N⁺ + M = SF + N + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR49	SF^– + O⁺ + M = SF + O + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR50	SF^– + N₂O⁺ + M = SF + N₂O + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR51	SF^– + O₂⁺ + M = SF + O₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR52	SF^– + S⁺ + M = SF + S + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR53	SF^– + SF⁺ + M = SF + SF + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR54	SF^– + S₂⁺ + M = SF + S₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR55	SF^– + NO⁺ + M = SF + NO + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR56	F^– + F⁺ + M = F + F + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR57	F^– + F₂⁺ + M = F + F₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR58	F^– + N₂⁺ + M = F + N₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR59	F^– + N⁺ + M = F + N + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR60	F^– + O⁺ + M = F + O + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR61	F^– + N₂O⁺ + M = F + N₂O + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR62	F^– + O₂⁺ + M = F + O₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR63	F^– + S⁺ + M = F + S + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR64	F^– + SF⁺ + M = F + SF + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TIR65	F^– + S₂⁺ + M = S₂ + F + M		6.61(-20)	-2.5	0	[8]
TIR66	F^– + NO⁺ + M = F + NO + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
Трехчастичная ассоциативная ион-ионная рекомбинация
TAR1	O₂^– + F⁺ + M = FO₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR2	O₂^– + N⁺ + M = NO₂ + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TAR3	O₂^– + O⁺ + M = O₃ + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TAR4	O₂^– + NO⁺ + M = NO₃ + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TAR5	O₂^– + S⁺ + M = SO₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR6	O^– + F⁺ + M = FO + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR7	O^– + N₂⁺ + M = N₂O + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TAR8	O^– + N⁺ + M = NO + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TAR9	O^– + O⁺ + M = O₂ + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TAR10	O^– + O₂⁺ + M = O₃ + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TAR11	O^– + S⁺ + M = SO + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR12	O^– + S₂⁺ + M = S₂O + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR13	O^– + NO⁺ + M = NO₂ + M		3.00(-19)	-2.5	0	[16]
TAR14	S^– + F⁺ + M = SF + M		7.30(-20)	-2.5	0	[8]
TAR15	S^– + F₂⁺ + M = SF₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR16	S^– + N⁺ + M = SN + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR17	S^– + O⁺ + M = SO + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR18	S^– + O₂⁺ + M = SO₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR19	S^– + S⁺ + M = S₂ + M		6.32(-20)	-2.5	0	[8]
TAR20	NO₂^– + F⁺ + M = NO₂F + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR21	NO₂^– + O⁺ + M = NO₃ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR22	SF^– + F⁺ + M = SF₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR23	SF^– + F₂⁺ + M = SF₃ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR24	F^– + F⁺ + M = F₂ + M		8.18(-20)	-2.5	0	[8]
TAR25	F^–+ N⁺ + M = NF + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR26	F^– + O⁺ + M = FO + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR27	F^– + O₂⁺ + M = FO₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR28	F^– + S⁺ + M = SF + M		7.32(-20)	-2.5	0	[8]
TAR29	F^– + SF⁺ + M = SF₂ + M		5.00(-20)	-2.5	0		h
TAR30	F^–+ S₂⁺ + M = SF + S + M		6.61(-20)	-2.5	0	[8]
TAR31	F^– + S₂⁺ + F = S₂ + F₂		6.61(-20)	-2.5	0	[8]
TAR32	F^– + S₂⁺ + F = SF + SF		6.61(-20)	-2.5	0	[8]
Бинарная ион-ионная рекомбинация (без химических превращений)
BIR1	O₂^– + F⁺ = O₂ + F		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR2	O₂^– + F₂ + = O₂ + F₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR3	O₂^– + N₂⁺ = O₂ + N₂		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR4	O₂^– + N⁺ = O₂ + N		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR5	O₂^– + O⁺ = O₂ + O		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR6	O₂^– + N₂O⁺ = O₂ + N₂O		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR7	O₂^– + O₂⁺ = O₂ + O₂		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR8	O₂^– + S⁺ = O₂ + S		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR9	O₂^– + SF⁺ = O₂ + SF		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR10	O₂^– + S₂⁺ = O₂ + S₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR11	O₂^– + NO⁺ = O₂ + NO		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR12	O^– + F⁺ = O + F		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR13	O^– + F₂⁺ = O + F₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR14	O^– + N₂⁺ = O + N₂		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR15	O^– + N⁺ = O + N		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR16	O^– + O⁺ = O + O		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR17	O^– + N₂O⁺ = O + N₂O		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR18	O^– + O₂⁺ = O + O₂		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR19	O^– + S⁺ = O + S		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR20	O^– + SF⁺ = O + SF		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR21	O^– + S₂⁺ = O + S₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR22	O^– + NO⁺ = O + NO		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR23	S^– + F⁺ = S + F		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR24	S^– + F₂⁺ = S + F₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR25	S^– + N₂⁺ = S + N₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR26	S^– + N⁺ = S + N		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR27	S^– + O⁺ = S + O		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR28	S^– + N₂O⁺ = S + N₂O		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR29	S^– + O₂⁺ = S + O₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR30	S^– + S⁺ = S + S		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR31	S^– + SF⁺ = S + SF		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR32	S^– + S₂⁺ = S + S₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR33	S^– + NO⁺ = S + NO		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR34	NO₂^– + F⁺ = NO₂ + F		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR35	NO₂^– + F₂⁺ = NO₂ + F₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR36	NO₂^– + N₂⁺ = NO₂ + N₂		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR37	NO₂^– + N⁺ = NO₂ + N		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR38	NO₂^– + O⁺ = NO₂ + O		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR39	NO₂^– + N₂O⁺ = NO₂ + N₂O		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR40	NO₂^– + O₂⁺ = NO₂ + O₂		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR41	NO₂^– + S⁺ =>NO₂ + S		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR42	NO₂^– + SF⁺ = NO₂ + SF		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR43	NO₂^– + S₂⁺ = NO₂ + S₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR44	NO₂^– + NO⁺ = NO₂ + NO		3.50(-6)	-0.5	0	[16]
BIR45	SF^– + F⁺ = SF + F		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR46	SF^– + F₂⁺ = SF + F₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR47	SF^– + N₂⁺ = SF + N₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR48	SF^– + N⁺ = SF + N		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR49	SF^– + O⁺ = SF + O		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR50	SF^– + N₂O⁺ = SF + N₂O		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR51	SF^– + O₂⁺ = SF + O₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR52	SF^– + S⁺ = SF + S		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR53	SF^– + SF⁺ = SF + SF		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR54	SF^– + S₂⁺ = SF + S₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR55	SF^– + NO⁺ = SF + NO		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR56	F^– + F⁺ = F + F		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR57	F^– + F₂⁺ = F + F₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR58	F^– + N₂⁺ = F + N₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR59	F^– + N⁺ = F + N		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR60	F^– + O⁺ = F + O		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR61	F^– + N₂O⁺ = F + N₂O		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR62	F^– + O₂⁺ = F + O₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR63	F^– + S⁺ = F + S		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR64	F^– + SF⁺ = F + SF		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR65	F^– + S₂⁺ = F + S₂		3.50(-6)	-0.5	0		m
BIR66	F^– + NO⁺ = F + NO		3.50(-6)	-0.5	0		m
Бинарная ион-ионная рекомбинация (с химическими превращениями)
BIT1	O₂^– + F₂⁺ = O₂ + F + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT2	O₂^– + N₂⁺ = O₂ + N + N		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT3	O₂^– + N₂O⁺ = O₂ + N₂ + O		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT4	O₂^– + O₂⁺ = O₂ + O + O		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT5	O₂^– + SF⁺ = O₂ + S + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT6	O₂^– + S₂⁺ = O₂ + S + S		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT7	O₂^– + NO⁺ = O₂ + N + O		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT8	O^– + F₂⁺ = O + F + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT9	O^– + N₂⁺ = O + N + N		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT10	O^– + N₂O⁺ = O + N₂ + O		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT11	O^– + O₂⁺ = O + O + O		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT12	O^– + SF⁺ = O + S + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT13	O^– + S₂⁺ = O + S + S		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT14	O^– + NO⁺ = O + N + O		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT15	S^– + F₂⁺ = S + F + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT16	S^– + N₂⁺ = S + N + N		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT17	S^– + N₂O⁺ = S + N₂ + O		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT18	S^– + O₂⁺ = S + O + O		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT19	S^– + SF⁺= S + S + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT20	S^– + S₂⁺= S + S + S		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT21	S^– + NO⁺ = S + N + O		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT22	NO₂^– + F₂⁺ = NO₂ + F + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT23	NO₂^– + N₂⁺ = NO₂ + N + N		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT24	NO₂^– + N₂O⁺ = NO₂ + N₂ + O		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT25	NO₂^– + O₂⁺ = NO₂ + O + O		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT26	NO₂^– + SF⁺ = NO₂ + S + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT27	NO₂^– + S₂⁺ = NO₂ + S + S		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT28	NO₂^– + NO⁺ = NO₂ + N + O		1.50(-6)	-0.5	0		l
BIT29	SF^– + F₂⁺ = SF + F + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT30	SF^– + N₂⁺ = SF + N + N		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT31	SF^– + N₂O⁺ = SF + N₂ + O		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT32	SF^– + O₂⁺ = SF + O + O		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT33	SF^– + SF⁺ = SF + S + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT34	SF^– + S₂⁺ = SF + S + S		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT35	SF^– + NO⁺ = SF + N + O		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT36	F^– + F₂⁺ = F + F + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT37	F^– + N₂⁺ = F + N + N		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT38	F^– + N₂O⁺ = F + N₂ + O		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT39	F^– + O₂⁺ = F + O + O		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT40	F^– + SF⁺ = F + S + F		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT41	F^– + S₂⁺ = F + S + S		1.50(-6)	-0.5	0		n
BIT42	F^– + NO⁺ = F + N + O		1.50(-6)	-0.5	0		n

Примечания к табл. 2:
a – подобрана наилучшая Аррениус-аппроксимация всех данных из [2];
b – аппроксимация данных, полученных из обратной константы скорости в виде A·Tⁿ;
c – непосредственное использования обратной константы ведет к нефизичному поведению прямой константы в области низких температур;
d – продукты не определены в [2];
e – данные аппроксимированы модифицированным уравнением Аррениуса k=A·Tⁿ·exp( -E_a/T)
f – наша оценка: k=10^-10;
g – наша оценка: k=3·10^-10;
h – 5.0·10^-20·T^-2.5 трехчастичная ион-ионная рекомбинация
i – получено из обратной константы скорости при T=1000, прямое использование обратной константы скорости приводит к аномально высокой величине прямой константы скорости при T=300-500 K;
j – данные из [8] с измененной энергией активации (для согласования с порогом ионизации)
k – рекомбинация в высоко возбужденные электронные состояния, константа рекомбинации в основное состояние – на много порядков меньше;
l – как в [16], но с температурной зависимостью T^-0.5;
m – также как в [16] для ионов N-O системы;
n – также как в [16] для ионов N-O системы, но с температурной зависимостью T^-0.5;
o – наилучшая аппроксимация всех данных из [2] (T=700-4000 K) и данных, полученных из обратной константы из [2] (T=300-1000 K)
p – взята как для реакции O + SOF₂= SO₂F₂;
q – взята как для реакции SO + O + M = SO₂ + M;
r – наша оценка.

Верификация кинетической модели

Тестирование кинетической модели проводилось с использованием экспериментальных данных по конверсии SF₆ в микроволновом разряде атмосферного давления. При численном моделировании эффект микроволнового разряда сводился к термическому нагреву исходной смеси.

На рисунке показано сравнение экспериментальных и расчетных данных по разложению фторида серы в микроволновом разряде атмосферного давления. Видно, что разработанная кинетическая модель дает не только качественное, но также и хорошее количественное совпадение с экспериментом. Имеется, однако, тенденция к небольшой недооценке численных данных по отношению к эксперименту с увеличением расхода газа.

Сравнение экспериментальных и расчетных данных по разложению фторида серы в микроволновом разряде атмосферного давления;
начальная смесь – N₂:SF₆:O₂= 98.75:0.5:0.75

Литература

R. J. Kee, F. M. Rupley, J. A. Miller, M. E. Coltrin, J. F. Grcar, E. Meeks, H. K. Moffat, A. E. Lutz, G. Dixon-Lewis, M. D. Smooke, J. Warnatz, G. H. Evans, R. S. Larson, R. E. Mitchell, L. R. Petzold, W. C. Reynolds, M. Caracotsios, W. E. Stewart, P. Glarborg, C. Wang, O. Adigun, W. G. Houf, C. P. Chou, and S. F. Miller, Chemkin Collection, Release 3.7, Reaction Design, Inc., San Diego, CA (2002)

NIST Chemical WebBook
Y.Kabouzi, M.D.Calzada, M.Moisan, K.C.Tran, C.Trassy, Radial contraction of microwave^-sustained plasma columns at atmospheric pressure, J.Appl.Phys., 2002, V.91, N 3, p.1008-1119
Alexander Burcat's Ideal Gas Thermochemical Database
Thermodynamic Properties of individual substances. Edit. By Gloushko, Moscow, 1978 (in Russian).
NASA Properties From Coefficients (PFC)
Kuznetsov N.M. Thermodynamic functions and shock adiabats of air at high temperatures. M: Mashinostroyrnie, 1965, 463 p (in Russian).
R.Girard, J.B.Belfaouari, J.J.Gonzalea, A.Gleizes, A two-temperature kinetic model of SF₆ plasma, J.Phys.D: Appl.Phys., 1999, V.32, 2890-2910.
M.Moisan, Y.Kabouzi, D.Keroack, D.Guerin, J.C.Rostaing, An innovative method for abating gases detrimental to the environment using atmospheric-pressure plasmas sustained by a surface wave at 2450 MHz,
A. Konnov mechanism
K.I. Virin, R.V. Dzhagatzpanyan, G.V. Karachentzev, V.K. Potapov, V.L. Talroze, Ion-molecular reactions in gases, 1979, Moscow, 548 p.
V.G. Anicich Evaluated bimolecular ion-molecule gas phase kinetic of positive ions for use in modeling planetary atmosphere, cometary comae, and interstellar clouds, J.Phys.Chem.Ref.Data (1993) Vol.22, No. 6, pp.1469-1569
E. Boge 1995 Modelisation de la cinetique chimique d’un plasma d’arc d’hexafluorure de soufre (SF₆) en presence d’impuretes, Phd Thesis, Pual Sabatier University.
Yu.P. Raizer, Physics of gas discharge, 1987, Moscow, 592 p.
M.J. Kushner, Simulation of the gas-phase processes in remote^-plasma-activated chemical-vapor deposition of silicon dielectrics using rare gas-silane^-ammonia mixture, J.Appl.Phys. (1992) Vol. 72, No. 9, pp.4173-4189.
A.M. Starik, A.M. Savel’ev, N.S. Titova, U. Schumann, Modeling of sulfur gases and chemiions in aircraft engines, Aerospace Science and Technology (2002) 6, p.63-81.
Bauerfeldt G.F. and Arbilla G. Modeling of the chemical processes in the plasma of gaseous mixtures in the etching of silocon. Part 2: SF₆/O₂., Quim.Nova, 1998, V.21, N 1, p.25-46.
Van Brunt R.J. and Herron J.T. Plasma chemical model for decomposition of SF₆ in negative glow corona discharges, Phys.Scr., 1994, V.53, p.9-29
Plumb I.C., Ryan K.R. Gas-phase reactions of SF₅, SF₂, and SOF with O(3P): Their significance in plasma processing, Plasma Chem. Plasma Process., 1986, V.6, p.247
Ryan K.R. Aspects of the chemistry of SF₆/O₂ plasmas, Plasma Chem. Plasma Process., 1989, V.9, p.483
Ryan K.R.; Plumb I.C. Gas-phase reactions in plasmas of SF₆ with O₂ in He, Plasma Chem. Plasma Process., 1988, V. 8, p. 263.
Diaz J., Casanovas A.M., Casanovas J. Effect of the percentage of SF₆ (100%-10%-5%) on the decomposition of SF₆-N₂ mixtures under negstive dc coronas in the presence of water vapour or oxygen, J.Phys.D: Appl.Phys., 2003, V.36, p.1558-1564.

Скачать:

chemSF6.inp - кинетический механизм в формате CHEMKIN®
thermSF6.dat - термодинамическая база данных в формате CHEMKIN®
tranSF6.dat - база данных транспортных свойств в формате CHEMKIN®

Внимание! При использовании данного механизма частично или полностью ссылка на авторов обязательна!

Chernukho A.P., Migoun A.N., Rostain J.-C., Perrin J. Detailed chemical kinetics of perfluorinated compounds thermal decomposition // Proc. of VI Int. Forum on Heat and Mass Transfer, May 19-23 2008, Minsk, Belarus / A.V.Luikov Institute of Heat and Mass Transfer, Minsk, 2008, pp.402-403.